狹縫閥門是真空系統中用於腔體隔離和開關控制的特殊部件。 它以適應傳輸腔和工藝腔之間的矩形“傳輸狹縫”開口而命名，屬於閘門驅動隔離閥的範疇。 憑藉其緊湊的結構和可靠的密封性能，它已成為高端製造和科研領域真空系統的關鍵部件。 其覈心設計是圍繞真空環境的密封和隔離要求而開發的，考慮了開閉響應和清潔度控制，適用於各種惡劣的工作條件。
從工作原理上講，狹縫閥門通過閘板的線性運動實現流路的開關，在腔體之間形成隔離屏障。 在關閉狀態下，閘板緊密地附著在閥座上，氣體流動被結構壓力和密封件的特性所阻擋，以保持腔內的真空狀態。 在打開狀態下，閘板垂直上升和下降到閥腔的頂部，使流動路徑完全暢通，並為晶片和基板等工件的轉移或氣體迴圈提供通道。 支持氣動、電動等驅動管道，可根據系統的自動化要求進行選擇。 一些型號可以實現快速打開和關閉動作，以適應高頻工作條件下的操作節奏。
狹縫閥門的結構設計具有明顯的針對性。 閥體主要由不銹鋼等耐腐蝕資料製成，可以抵抗工藝介質和環境的侵蝕，延長使用壽命。 密封結構經過優化，配合特殊密封件，實現低洩漏效能，可滿足高真空和超高真空環境的氣密性要求。 為滿足清潔度要求，該產品採用低顆粒產生設計，减少門板運動和摩擦產生的雜質，避免污染真空環境。 同時，整體結構緊湊，安裝深度適應狹縫開口的空間限制，可以無縫集成到傳輸腔和工藝腔的介面位置，同時考慮到安裝方便性和系統相容性。
覈心特徵也體現在工作條件的適應性上。 有些型號支持高溫真空烘烤工作條件，可以承受一定範圍的溫度變化而不影響密封性能； 全金屬密封模型可以適應更惡劣的使用環境，應對高壓和溫度波動帶來的挑戰。 此外，閥門在運行過程中具有很高的穩定性，在反復打開和關閉後仍能保持密封效果和平穩運動，降低了維護頻率。