ESC靜電卡盤是電晶體製造領域的覈心晶圓夾緊裝置，其基本原理是靜電吸附。 它通過施加高電壓形成靜電場，並通過庫侖力或約翰遜-拉貝克力實現晶片的非接觸固定，是电浆蝕刻、離子注入和薄膜沉積等真空工藝中不可或缺的關鍵部件。該產品適用於惡劣的工藝環境，包括非磁性條件和10℃的超高真空 ⁻⁵ Pa及以下，可以穩定吸附晶片、藍寶石和玻璃等各種介電材料。 它支持雙極、多極和交叉指型電極的定制設計，吸附表面的整...

ESC靜電卡盤作為一種替代傳統機械夾緊和真空吸附的新型精密夾緊科技，憑藉其獨特的科技優勢，已大規模應用於電晶體、面板顯示器、太陽能光伏和精密光學等高端製造領域，並已成為現代超淨薄板加工的覈心載體。與傳統的夾緊方法相比，ESC靜電卡盤的核心技術優勢體現在四個主要方面。第一，非接觸無應力夾緊：固定是通過靜電力實現的，沒有物理接觸，完全避免了機械夾具造成的晶片損壞和邊緣排斥效應，適用於加工厚度小於50μ...

ESC靜電吸盤的覈心是利用靜電感應和電場力實現晶片和玻璃基板等薄工件的非接觸式精確固定。 本質上，它是一種可控的電容吸附系統，適用於真空和电浆環境等惡劣的電晶體工作條件。 同時，它通過不同的吸附機制適應各種工藝要求。它具有三明治狀結構：底層是用於支撐和電路集成的基板，中間層由金屬電極（單極、雙極或多極）組成，表層覆蓋著由氮化鋁和氧化鋁等資料製成的絕緣導熱介電層。 在操作過程中，工件充當電容器的上板...